Riscaldatore per la fase di post esposizione (PEB)

Wed, 24 Jun 2026 01:24:08 +0800

Nelle linee di litografia, un riscaldatore PEB che presenta una variazione di temperatura anche di soli 0,2°C può compromettere la qualità dei CD prodotti, causando una riduzione della resa del processo. Abbiamo progettato questo riscaldatore per eliminare tale variabilità, in modo che la chimica utilizzata nel processo di fotolitografia funzioni esattamente come previsto dalle specifiche tecniche.

Quello che è importante… Ci preoccupiamo di mantenere una uniformità termica pari a ±0,1°C sulla superficie su cui avviene il riscaldamento. In questo modo, sia il riscaldamento lento che quello rapido possono essere ripetuti con precisione, lotto dopo lotto. Gli elementi a infrarossi a lunghezza d’onda corta permettono un aumento rapido e preciso della temperatura, garantendo così tempi di risposta brevi e un controllo preciso delle condizioni termiche. La zona di riscaldamento è progettata per non generare particelle, quindi può essere utilizzata in ambienti puliti di classe 1–100 senza alcun rischio di contaminazione. La potenza, la tensione e le dimensioni del dispositivo corrispondono a quelle degli standard degli strumenti industriali; inoltre, l’interfaccia è progettata per essere integrata facilmente negli impianti esistenti.

Cuocere in Forno on Warm IR Heating Equipment

Riscaldatore per la fase di post esposizione (PEB)