Riscaldamento a infrarossi per sottileggimento dei wafer

Tue, 23 Jun 2026 13:31:55 +0800

Nelle linee di produzione, lo sottilening del wafer permette di esporre il chip stesso. Il controllo della temperatura è fondamentale: l’integrità del fotorest, lo stress causato dall’ossido e eventuali deformazioni del wafer dipendono tutti dal controllo della temperatura. Anche un piccolo sbilancio termico può causare problemi come la delaminazione del materiale, con conseguente perdita di un intero lotto di prodotti da 300 mm. Abbiamo progettato una piattaforma di riscaldamento a infrarossi per mantenere stabile il profilo termico, ciclo dopo ciclo.

Diradamento on Warm IR Heating Equipment

Riscaldamento a infrarossi per sottileggimento dei wafer