Riscaldatore per cottura a fascio elettronico

Sat, 27 Jun 2026 01:52:16 +0800

Nella fase di litografia, la cottura del resistente all’E-beam non è semplicemente un passaggio aggiuntivo nel processo produttivo: rappresenta infatti un elemento fondamentale per il controllo della dimensione dei circuiti realizzati. Una variazione di temperatura di 5°C durante questa fase può avere effetti negativi sulla precisione delle dimensioni dei circuiti stessi. Non si possono permettere errori nella gestione di questo processo, soprattutto in ambito produttivo.

I riscaldatori utilizzati per la cottura del resistente all’E-beam vengono progettati tenendo conto di un requisito fondamentale: un comportamento termico preciso e affidabile. L’elemento riscaldante utilizza onde infrarosse a breve lunghezza d’onda per trasferire energia rapidamente e senza creare zone di calore eccessivo. Nella zona di cottura, l’uniformità della temperatura rimane entro i ±0,1°C, così che ogni singola scheda venga sottoposta alle stesse condizioni termiche. La ripetibilità della temperatura è molto elevata, permettendo così di mantenere stabili le dimensioni dei circuiti da lotto a lotto. I materiali utilizzati per costruire la camera di cottura sono selezionati appositamente per funzionare in ambienti sterili, garantendo così un funzionamento senza generazione di particelle durante il processo di cottura. La struttura del sistema è progettata per funzionare 24/7, con cicli termici ottimizzati per ridurre al minimo i tempi di fermo non pianificati.

E on Warm IR Heating Equipment

Riscaldatore per cottura a fascio elettronico