Termocoppia per riscaldatore a semiconduttori

Thu, 02 Jul 2026 03:50:01 +0800

Nelle linee di produzione, una variazione della temperatura di cottura anche di soli 0,5°C può influenzare negativamente le dimensioni dei wafer, rendendoli inutilizzabili. I semiconduttori non tollerano grandi variazioni di temperatura. Per questo motivo, sia la fase di cottura del fotorest che quella successiva richiedono valori di regolazione precisi e costanti, uguali per ogni unità di produzione. Abbiamo progettato il nostro termocoppio proprio per affrontare questa situazione.

Cosa è importante da considerare
Utilizziamo un termocoppio di tipo K, dotato di giunzioni a bassa massa termica e di un rivestimento resistente all’ossidazione. Il tempo di risposta è inferiore a 200 ms, e il termocoppio mantiene una temperatura costante di 500°C. Il controller permette di linearizzare l’output, mentre la geometria della sonda corrisponde perfettamente a quella del riscaldatore, così da poter misurare esattamente la superficie del wafer, e non il blocco di riscaldamento stesso.

Scaldatore on Warm IR Heating Equipment

Termocoppia per riscaldatore a semiconduttori