エネルギー on Warm IR Heating Equipment

省エネ型半導体ヒーター

Thu, 30 Jul 2026 13:42:16 +0800

なぜスマートファブには、熱を制御するために赤外線が必要なのか
インダストリー4.0のファブを構築する際には、熱の扱い方を見直す必要があります。
これまで使われてきた従来型の抵抗加熱方式では、処理速度が遅すぎます。また、熱的な遅延が生じてしまい、デジタル化された生産ラインの効率を損なってしまいます。そのため、私たちは高効率な赤外線システムを採用しています。このシステムにより、自動化された半導体製造ラインの速度に合わせて、精密かつデータ駆動型の制御が可能になります。

工場の乾燥設備に対するエネルギー診断

Tue, 21 Jul 2026 02:17:19 +0800

ウェーハを乾燥させる際には、適切なバランスが求められます。表面の水分を素早く取り除く必要がありますが、熱を強く当てすぎると、ウェーハにストレスがかかってしまいます。

私たちの多くは、この目的のために赤外線放射器を使用しています。しかし問題は、一般的な石英ランプは効率が悪いということです。発生した熱の大部分が無駄に四方八方に放出され、ウェーハではなく機械の壁に当たってしまいます。まるで窓を開けたまま部屋を暖めようとしているようなものです。

省エネ型ウェーハヒーター

Sat, 11 Jul 2026 05:33:00 +0800

装置を加熱するのをやめて、ウェーハを直接加熱しましょう。
半導体製造に使われる装置の中には、まるで空気暖房のように感じられるものもありますよね？
一般的な抵抗加熱器は効率が悪く、熱があちこちに漏れ出してしまい、チャンバ全体が温まってしまいます。問題は、実際には部屋全体を温める必要はなく、ウェーハだけを温めるべきだということです。高価な装置の内壁が高温になりすぎて、作業員が怪我をしたり、シール部分が溶けたりすると、大変な問題になります。