http://warm-ir-heat-tools.com/ja/tags/%E3%83%87%E3%83%90%E3%82%A4%E3%82%B9/ Recent content in デバイス on Warm IR Heating Equipment Hugo ja Wed, 17 Jun 2026 11:53:49 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/ja/posts/semiconductor-device-characterization-heater/ Wed, 17 Jun 2026 11:53:49 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/ja/posts/semiconductor-device-characterization-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heat-tools.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="半導体デバイスの特性評価用ヒーター"></p> <p>ファブ内では、フォトレジストの焼成時に2℃の温度変動が生じると、CD値が変わってしまうだけでなく、何時間ものリソグラフィー処理時間が無駄になります。また、本来出荷可能だったウェーハも廃棄処分になってしまいます。性能が不十分なヒーターを使うと、熱管理が困難になり、再検証のための時間も余計にかかってしまいます。</p>