http://warm-ir-heat-tools.com/ja/tags/%E5%8A%B9%E7%8E%87%E7%9A%84/ Recent content in 効率的 on Warm IR Heating Equipment Hugo ja Sat, 11 Jul 2026 05:33:00 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/ja/posts/energy-efficient-wafer-heater/ Sat, 11 Jul 2026 05:33:00 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/ja/posts/energy-efficient-wafer-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heat-tools.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="省エネ型ウェーハヒーター"></p> <p>装置を加熱するのをやめて、ウェーハを直接加熱しましょう。<br> 半導体製造に使われる装置の中には、まるで空気暖房のように感じられるものもありますよね？<br> 一般的な抵抗加熱器は効率が悪く、熱があちこちに漏れ出してしまい、チャンバ全体が温まってしまいます。問題は、実際には<a href="https://o-yate.com">部屋全体</a>を温める必要はなく、ウェーハだけを温めるべきだということです。高価な装置の内壁が高温になりすぎて、作業員が怪我をしたり、シール部分が溶けたりすると、大変な問題になります。</p>