http://warm-ir-heat-tools.com/ja/tags/%E8%96%84%E5%8C%96/ Recent content in 薄化 on Warm IR Heating Equipment Hugo ja Tue, 23 Jun 2026 13:31:55 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/ja/posts/wafer-thinning-heating-infrared/ Tue, 23 Jun 2026 13:31:55 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/ja/posts/wafer-thinning-heating-infrared/ <p><img src="http://warm-ir-heat-tools.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハ薄化加熱赤外線"></p> <p>ウェーハを薄くする際、ダイが露出します。そして、熱管理は交渉の余地がない重要な要素です。フォトレジストの特性、酸化物による応力、わん曲など、すべては温度制御にかかっています。わずか0.5度の温度変動でも、フィルムの応力が変わり、剥離が起こり、300mmサイズのウェーハ全体が無駄になってしまいます。私たちは、このような状況を回避するために、インフラーアレッド加熱システムを開発しました。これにより、サイクルを重ねても温度が安定して維持されます。</p>