http://warm-ir-heat-tools.com/ja/tags/%E8%A8%AD%E5%82%99/ Recent content in 設備 on Warm IR Heating Equipment Hugo ja Sun, 19 Jul 2026 09:46:21 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/ja/posts/clean-room-equipment-upgrades-fab/ Sun, 19 Jul 2026 09:46:21 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/ja/posts/clean-room-equipment-upgrades-fab/ <p><img src="http://warm-ir-heat-tools.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="クリーンルーム設備のアップグレードを実施"></p> <p>ファブ内での炭素排出量を削減するために：IR加熱への移行<br> 正直言って、半導体製造ファブは非常に多くのエネルギーを消費しています。クリーンルーム内にある古い装置のほとんどは、依然として抵抗加熱や、無駄なエネルギーを空気中に放出するような加熱方式を使っています。これは明らかに無駄です。だからこそ、多くの工場が短波長赤外線（SWIR）システムへと移行しているのです。これはずっと効率的な方法です。</p> http://warm-ir-heat-tools.com/ja/posts/wafer-fabrication-line-equipment/ Mon, 22 Jun 2026 19:35:50 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/ja/posts/wafer-fabrication-line-equipment/ <p><img src="http://warm-ir-heat-tools.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ウェーハ製造ラインの装置"></p> <p>製造現場において、<a href="https://o-yate.com">温度</a>というのは単なる設定値ではなく、重要な制約条件です。フォトレジストのソフトベイク処理時にわずか半度でも温度が変動すると、重要な寸法がずれてしまい、大量の廃棄品が出てしまいます。そのため、私たちは、実際のリソグラフィーやフォトレジスト処理で求められる熱制御の要件に合わせて、赤外線加熱モジュールを設計しています。つまり、再現性の高い加熱ができ、妥協の余地がないのです。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 私たちは、応答速度が速く、スペクトル制御が正確な短波長赤外線発信器を使用し、ウェーハを直接加熱します。これにより、熱遅延が少なくなり、チャンバーの影響も抑えられます。プロセス中、ウェーハ全体の温度ばらつきは±0.1℃以内に保たれるため、ソフトベイク処理によってフォトレジストの流れや溶剤の除去が安定し、ハードベイク処理によって一貫した架橋が実現されます。</p>