http://warm-ir-heat-tools.com/ja/tags/peb/ Recent content in (PEB) on Warm IR Heating Equipment Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 01:24:08 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/ja/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Wed, 24 Jun 2026 01:24:08 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/ja/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heat-tools.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="露光後ベイク PEB ヒーター"></p> <p>リソグラフィー工程において、0.2℃というわずかな温度変動でも、PEBヒーターによってCDの縁が損傷し、結果として歩留まりが低下してしまいます。そこで、この露光後のベイク用ヒーターを開発しました。これにより、そのような温度変動を排除し、フォトレジストの特性が設計通りに働くようになります。</p>