http://warm-ir-heat-tools.com/ko/tags/%EC%9E%A5%EB%B9%84/ Recent content in 장비 on Warm IR Heating Equipment Hugo ko Sun, 19 Jul 2026 09:46:25 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/ko/posts/clean-room-equipment-upgrades-fab/ Sun, 19 Jul 2026 09:46:25 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/ko/posts/clean-room-equipment-upgrades-fab/ <p><img src="http://warm-ir-heat-tools.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="클린룸 장비 업그레이드 공장"></p> <p>제조 공장에서의 탄소 배출 감소: 적외선 가열 방식으로의 전환<br> 솔직히 말해서, 반도체 제조 공장들은 엄청난 양의 에너지를 소비합니다. 클린룸에 있는 기존 장비들은 대부분 저항식 가열 방식을 사용하거나, 에너지를 낭비하는 구식 열 처리 방식을 사용합니다. 이는 명백한 낭비입니다. 그래서 점점 더 많은 공장들이 단파 적외선(SWIR) 시스템을 도입하고 있습니다. 이 방식은 훨씬 더 효율적인 방법입니다.</p> http://warm-ir-heat-tools.com/ko/posts/wafer-fabrication-line-equipment/ Mon, 22 Jun 2026 19:35:51 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/ko/posts/wafer-fabrication-line-equipment/ <p><img src="http://warm-ir-heat-tools.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="웨이퍼 제조 라인 장비"></p> <p>팹 내에서 온도는 단순한 설정 값이 아니라, 매우 중요한 기준입니다. 포토레지스트를 소프트 베이크하는 과정에서 온도가 반도 정도만 변해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 그래서 우리는 리소그래피 및 포토레지스트 처리 과정에서 요구되는 열 제어 기능을 바탕으로 적외선 가열 모듈을 설계했습니다. 즉, 반복 가능한 열 공급이 가능하며, 어떠한 타협도 허용되지 않습니다.</p>