http://warm-ir-heat-tools.com/ko/tags/peb/ Recent content in (PEB) on Warm IR Heating Equipment Hugo ko Wed, 24 Jun 2026 01:24:08 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/ko/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ Wed, 24 Jun 2026 01:24:08 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/ko/posts/post-exposure-bake-peb-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heat-tools.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="노출 후 가열 장치(PEB 히터)"></p> <p>리소그래피 공정에서는 0.2°C만큼의 온도 변동이 있어도 CD의 가장자리가 손상될 수 있으며, 이로 인해 생산 효율이 떨어질 수 있습니다. 저희는 이러한 변동성을 없애기 위해 이러한 포스트-익스포저 베이크 히터를 개발했습니다. 그렇게 함으로써 포토레지스트의 성능이 설계대로 작동할 수 있습니다.</p>