Pemanas untuk proses pembakaran menggunakan sinar E beam
Dalam proses litografi, proses pemanasan bahan resist menggunakan sinar E-beam bukan sekadar langkah biasa sahaja – ia merupakan faktor penting untuk...
Lampu penaik photoresist
Di lantai fabrikasi, anda mengukur margin kesilapan dalam pemprosesan photoresist pada skala nanometer. Beberapa darjah penyimpangan semasa soft bake...