Hoe je een Class 100-cleanroom echt schoon houdt
Wanneer je werkt in een Class 100-cleanroom of in een vacuümkamer, is ‘gasontwikkeling’ je grootste vijand. De meeste standaardverwarmingsonderdelen zijn in zulke omgevingen een nachtmerrie. Terwijl ze opwarmen, beginnen ze vluchtige organische verbindingen (VOC’s) vrij te geven of kleine deeltjes af te scheiden. Als je werkt met wafers of optische coatings van hoge zuiverheid, is dat een ramp. Eén microscopisch klein deeltje kan al zorgen voor het verlies van de hele batch.
We lossen dit probleem op door gebruik te maken van synthetische kwartsinfraroodlampen van hoge zuiverheid. Deze lampen zijn speciaal ontworpen voor gebruik in vacuümen, zodat je je geen zorgen hoeft te maken over vervuiling die je werk kan verstoren.
Waarom we kiezen voor kwarts van hoge zuiverheid
We gebruiken gefuseerd silica met bijna geen onzuiverheden. Het doel is om het afbreken van deeltjes te voorkomen, nog voordat het begint. In tegenstelling tot gewoon glas, breekt dit materiaal niet en lekt het geen gassen wanneer het heet wordt. Bovendien gebruiken deze lampen kortegolflengte-infraroodstraling. Hierdoor gaat de energie rechtstreeks naar het te bewerken object. Er wordt geen energie verspild aan het opwarmen van de rest van de vacuümomgeving, waardoor de hittebehoeften goed onder controle blijven.
Het lastige gedeelte: vacuümsluitingen
Het probleem zit vaak in de sluiting tussen de lamp en de vacuümflessen. Dat is het belangrijkste punt waar problemen kunnen ontstaan. Daarom gebruiken we gespecialiseerde elektroden en sluitingen die bestand zijn tegen hoge drukken. Je kunt niet zomaar een willekeurige connector gebruiken. De materialen moeten keer op keer worden verhit en afgekoeld, zonder dat ze barsten of deeltjes afgeven.
We kunnen de vermogens en spanning aanpassen aan de afmetingen van je ruimte. Houd er echter rekening mee dat een hoger vermogen meer hitte oplevert. Je moet ervoor zorgen dat je vacuümpompen dit kunnen bijhouden. Je wilt immers niet dat de wanden van je ruimte te heet worden.
Enkele waarschuwingen (Wat je beter niet doet)
Kwarts van hoge zuiverheid is geweldig, maar het is broos. Het kan extreme temperaturen verdragen, maar het kan niet tegen schokken. Als je de lamp laat vallen of te hard met de bevestigingsklitten omgaat, kan er een stressfractuur ontstaan. In een vacuüm betekent dit een onmiddellijk verlies van druk.
Nog één tip: draag altijd handschoenen. Het klinkt simpel, maar huidolieën veroorzaken vlekken op het kwarts. Die vlekken zorgen voor ‘heiße punten’ wanneer de lamp wordt aangezet. Die heiße punten zorgen er juist voor dat de lamp te vroeg kapotgaat. Behandel het materiaal met zorg, dan zal het lang meegaan.