Op de productielijn wordt het wafer dunner gemaakt, zodat de chip zichtbaar wordt. De thermische omstandigheden zijn echter niet onderhandelbaar. De integriteit van het fotorestermateriaal, de spanningen in het oxide laagje en eventuele vervormingen – dit alles hangt af van de temperatuurregeling. Een verschil van maar een halve graad kan al leiden tot spanningen in het materiaal, waardoor het materiaal zich kan scheiden van het wafer. Dit kan gevolgen hebben voor een hele lading van 300 mm grote wafers. We hebben onze infraroodverwarmingssystemen ontworpen om deze thermische omstandigheden constant te houden, keer op keer.
Infraroodstraling dringt rechtstreeks door tot in de dunne lagen en het substraat. Onze korte golflengte-infraroodarrays zorgen ervoor dat de energie precies op de juiste plaats terechtkomt. Hierdoor blijft de temperatuur over de actieve zone gelijk, binnen een marge van ±0,1°C. De temperatuurstijgingen bedragen meer dan 10°C/s, zodat het mogelijk is om zowel zachte als harde verhitting te gebruiken, zonder dat er thermische problemen optreden.
De compatibiliteit met Cleanroom Class 1–100 is in het ontwerp verwerkt: materialen met lage uitgasingswaarden, gesloten kwartskammen en een gestructureerde luchtcirculatie zorgen ervoor dat het aantal deeltjes constant blijft. Er wordt geen sprake van het ontstaan van deeltjes; dit wordt gemeten, in plaats van alleen beloofd. Met in-situ monitoring blijft het aantal deeltjes onder de 0,3 deeltjes/cm².
Bij het dunner maken van het wafer gaat de hitte rechtstreeks naar het wafer zelf, niet naar het dragende materiaal. Hierdoor blijven de eigenschappen van het fotorestermateriaal behouden, worden randproblemen geminimaliseerd en blijven de cruciale dimensies binnen de vereiste grenzen. Hierdoor is de herhalbaarheid van de dikte van het wafer beter, gaan er minder defecte producten verloren en werken de verhittingsprocessen voorspelbaar van lading tot lading.
De energieverbruik neemt af, omdat de heater rechtstreeks met het materiaal in contact komt – er is geen parasitaire verhitting. De modules werken 24/7, zonder ongeplande stilstand. De levensduur van de modules bedraagt meer dan 10.000 uur.
De installatie is eenvoudig, maar integratie is noodzakelijk. Het systeem heeft een aparte 24 V-aansluiting nodig, schoon en droog lucht bij een druk van 0,4 MPa, en een proceskamer met kwartskammen die past bij uw apparatuur. De integratie duurt ongeveer twee dagen, inclusief het kalibreren van de emissiviteitswaarden voor elke lagenstructuur.
Houd rekening met thermische schaduwen in de randgebieden. Wij leveren het benodigde protocol om veilige grenscondities vast te stellen.