Verwarmingsapparaat voor post exposure bake (PEB)

Wed, 24 Jun 2026 01:24:08 +0800

Op de lithografieafdeling kan een PEB-verwarmer die zelfs maar 0,2°C afwijkt van het gewenste temperatuurniveau, schade toebrengen aan de randen van de CD’s en daardoor leiden tot een verminderde opbrengst. We hebben deze verwarmer ontworpen om deze variabiliteit te elimineren, zodat de chemische samenstelling van de fotoresist zich precies zoals verwacht gedraagt.

Wat belangrijk is:
We streven ernaar om een temperatuurstabiliteit van ±0,1°C te bereiken over het hele oppervlak van de verwarmer. Hierdoor zijn zowel zachte als harde verhittingprocessen herhaalbaar, lopend op verschillende batches. Korte-golflengte infraroodelementen zorgen voor snelle en nauwkeurige temperatuurregelingen, waardoor de thermische parameters goed onder controle blijven en de productietijd voorspelbaar is. De hete zone is zo ontworpen dat er geen deeltjes worden gegenereerd, zodat de verwarmer gemakkelijk kan worden gebruikt in een schone ruimte van klasse 1–100, zonder dat er risico’s op contaminatie zijn. De benodigde stroomsterkte, spanning en afmetingen voldoen aan de standaarden van andere apparaten, en de interface is zo ontworpen dat de verwarmer gemakkelijk kan worden geïntegreerd in bestaande systemen.

Uitstelling; Blootstelling on Warm IR Heating Equipment

Verwarmingsapparaat voor post exposure bake (PEB)