Na hali produkcyjnej płytki SiC nie pozwalają na swobodne operowanie temperaturą. Wahanie o 2°C podczas wypalania fotoresistu wystarczy, by zaburzyć nakładanie wzoru, a niestaranny profil lampy może zrujnować całą partię. Nasza lampa grzewcza do obróbki płytek SiC została zaprojektowana z myślą o takich wymaganiach.
Co ma techniczne znaczenie
Używamy halogenowych emiterów krótkofalowej podczerwieni w kwarcowej obudowie, dostrojonych do absorpcji SiC, co zapewnia szybkie nagrzewanie płytki i stabilność temperatury. W obszarze wypalania utrzymujemy jednolitość temperatury na poziomie płytki w granicach ±0,1°C oraz powtarzalność cyklu w cykl w zakresie ±0,5°C. Konstrukcja do pracy w cleanroomie obejmuje materiały zgodne z klasą 1–100, brak generowania cząstek podczas cykli termicznych oraz niską emisję gazów, co zapobiega zanieczyszczeniom w komorze. Zapewniamy szybkie tempo nagrzewania bez przekraczania budżetu cieplnego, a system jest zbudowany do pracy 24/7 z profilem niezawodności minimalizującym nieplanowane przestoje.
Dlaczego sprawdza się w litografii
W tracku ta lampa zapewnia stabilne profile miękkiego i twardego wypalania na SiC, co zapobiega utracie kontroli wymiaru krytycznego i spadkowi wydajności. Ścisła kontrola termicznej jednorodności zmniejsza defekty krawędziowe i w fotoresistach, a powtarzalna temperatura wypalania redukuje konieczność poprawek i poprawia zdolność procesu z punktu widzenia widoczności linii. Efektywne sprzężenie podczerwieni i precyzyjna kontrola czasu ekspozycji przekładają się na niższe zużycie energii. Interwały konserwacji są wydłużone dzięki żywotności emiterów i modułowej konstrukcji.
Co trzeba zrobić poprawnie
Instalacja polega na dopasowaniu wymiarów i interfejsu lampy do narzędzia track, a następnie potwierdzeniu parametrów napięcia i złączy względem zasilania szafy. Lampa pracuje w parametrach, gdy ciśnienie w komorze i przepływ gazu mieszczą się w określonym zakresie; przekroczenie tych wartości skutkuje pogorszeniem jednorodności i tempa nagrzewania. Konfigurację wykonaj wspólnie z zespołem utrzymania ruchu, a przed uruchomieniem produktu ustal przepisy wypalania, zadane wartości temperatury oraz logikę blokad.