Na linha de produção, uma variação de 0,5°C na temperatura de cozimento pode afetar as dimensões críticas dos wafers, fazendo com que muitos deles se tornem inutilizáveis. O aquecimento em semicondutores não permite muitas imperfeições. Os processos de cozimento do fotoreativo exigem parâmetros fixos e consistentes – os mesmos em todos os slots e em todas as jornadas de trabalho. Por isso, desenvolvemos nosso termopar para atender a essas exigências.
O que é importante por trás disso tudo Utilizamos um termopar do tipo K, com junção de baixa massa térmica e revestimento resistente à oxidação. A resposta do termopar fica abaixo de 200 ms, e ele mantém uma temperatura constante de 500°C. O controlador lineariza a saída do termopar, e a geometria da sonda permite que sejam medidas as características do próprio wafer, e não do bloco de aquecimento.
A uniformidade ao nível do wafer fica dentro de ±0,1°C, com baixo autoaquecimento e variações mínimas de tensão elétrica. O equipamento é adequado para salas limpas de classe 1–100. Além disso, os materiais e conexões utilizados não liberam partículas ou gases indesejados.
Por que isso funciona no nosso ambiente de trabalho Nos módulos de litografia e de revestimento/cozimento, esse termopar permite o controle preciso da temperatura. Isso garante que os parâmetros de cozimento do fotoreativo sejam mantidos dentro das especificações, reduzindo assim a necessidade de retrabalho e melhorando o controle térmico. Como resultado, há menos variações, CDs mais estáveis e maior taxa de produtividade.
O consumo de energia diminui, pois o aquecedor atinge exatamente o ponto de temperatura desejado – sem sobreajuste. A confiabilidade do equipamento aumenta ao longo de dezenas de milhares de ciclos térmicos, o que resulta em menos manutenções e menos tempos de inatividade não planejados.
Detalhes que podem causar problemas se ignorados A tolerância de montagem é muito pequena. A ponta da sonda precisa estar exatamente no ponto térmico desejado para se obter a uniformidade esperada. Ao substituir os blocos de aquecimento antigos, geralmente é necessário ajustar o controlador, pois a massa térmica muda, fazendo com que o sistema responda de maneira diferente.
É necessário manter o revestimento do termopar intacto. Se ele for dobrado ou torcido demais, a calibração será afetada. É importante fazer verificações periódicas de calibração. Até mesmo os melhores termopares envelhecem com o tempo, e em semicondutores, planejamos isso desde o início.