Aquecedor para assar com feixe de elétrons

Sat, 27 Jun 2026 01:52:16 +0800

Na área de litografia, o processo de secagem do resista com feixe de elétrons não é apenas mais um passo no processo – é fundamental para o controle da largura das linhas. Uma variação de 5°C durante esse processo afeta negativamente as dimensões críticas do componente produzido. Não há lugar para suposições nesse processo; elas certamente não são aceitáveis na produção em larga escala.

Projetamos os aquecedores utilizados no processo de secagem do resista com feixe de elétrons com base em uma exigência importante: um comportamento térmico previsível, que siga as especificações estabelecidas, e não seja imprevisível. O elemento de aquecimento utiliza radiação infravermelha de onda curta para transferir energia de forma rápida e eficiente, permitindo respostas em menos de um segundo, sem pontos quentes. Na área de aquecimento, a uniformidade térmica permanece dentro de ±0,1°C, garantindo que cada lote tenha as mesmas condições térmicas. A repetibilidade da temperatura fica na casa dos milígraus, o que mantém as dimensões críticas estáveis de lote em lote. Os materiais utilizados nas câmaras e seus acabamentos superficiais são selecionados para funcionar em ambientes limpos, permitindo operações em classes 1–100, sem geração de partículas durante o processo de aquecimento. A plataforma é projetada para funcionar 24/7, com ciclos térmicos bem planejados, evitando paradas inexplicadas.

E on Warm IR Heating Equipment

Aquecedor para assar com feixe de elétrons