Aquecedor de pós exposição (PEB)

Wed, 24 Jun 2026 01:24:08 +0800

No setor de litografia, um aquecedor PEB que apresente uma variação de temperatura de até 0,2°C pode causar danos às bordas dos CDs, resultando em perda de qualidade nos produtos fabricados. Por isso, desenvolvemos este aquecedor pós-exposição para eliminar essa variabilidade, de modo que a química do fotorevestimento funcione conforme o esperado.

O que é importante em termos técnicos
Nosso objetivo é alcançar uma uniformidade térmica de ±0,1°C em toda a superfície de aquecimento, assim, os processos de aquecimento podem ser repetidos com precisão, lote após lote. Os elementos infravermelhos de onda curta permitem um aquecimento rápido e preciso, mantendo o controle térmico sob controle e tornando o tempo de ciclo previsível. A zona de aquecimento foi projetada para não gerar partículas, permitindo assim seu uso em salas limpas de classe 1–100, sem risco de contaminação. A potência, a tensão e as dimensões do equipamento correspondem aos padrões dos equipamentos convencionais, e sua interface é projetada para integrar-se facilmente aos sistemas já existentes.

Exposição on Warm IR Heating Equipment

Aquecedor de pós exposição (PEB)