Aquecedor de fabricação de pontos quânticos

Sun, 31 May 2026 02:48:03 +0800

Assista ao wafer de 300 mm ser enrolado na célula de litografia. Aplique o fotoresiste e o cronômetro começa a contar. É necessária uma pré-secagem (soft bake) que extraia o solvente sem causar fluxo no resiste. É necessária uma pós-secagem (hard bake) que efetue o reticulamento do resiste sem provocar deslizamento ou tensão. E ambas devem ocorrer de forma consistente, para que o processo se mantenha lote após lote durante as qualificações.

Se a secagem não for uniforme, haverá variação na largura das linhas ao longo do campo. Se a rampa for muito lenta, o orçamento térmico é consumido e as dimensões críticas sofrem deriva. Se o aquecedor sofrer deriva, a calibração envelhece até que os gráficos de controle deixem de refletir a realidade. Na fabricação de pontos quânticos (QD), as pilhas são finas, as interfaces são nítidas e a janela térmica é estreita. Uma única secagem ruim pode eliminar a margem que a equipe de dispositivos lutou para projetar.

Ponto on Warm IR Heating Equipment

Aquecedor de fabricação de pontos quânticos