Вакуум on Warm IR Heating Equipment

Инфракрасный нагреватель для вакуумной камеры

Wed, 22 Jul 2026 02:33:21 +0800

Почему мы отказываемся от использования горячего воздуха в пользу вакуумных инфракрасных обогревателей в производстве полупроводников
Если вы стремитесь ускорить процесс обработки полупроводников, вам, наверное, уже известно, что ожидание нагрева камеры — это серьезная проблема.

Долгое время мы использовали горячий воздух для нагрева. Но есть одна проблема: необходимо нагреть всю камеру — воздух, стены, все вокруг — прежде чем пластина начнет нагреваться. Этот процесс медленный и неэффективный.

Поэтому мы перешли на использование вакуумных инфракрасных обогревателей. Вместо того чтобы нагревать воздух вокруг платы, инфракрасные лучи направляют энергию прямо на саму плату. Никаких посредников не нужно.

Инфракрасный обогреватель совместимый с вакуумом

Fri, 10 Jul 2026 02:04:33 +0800

Как сохранить чистоту в помещении класса 100
При работе в помещении класса 100 или в вакуумной камере главным врагом является выделение газов. Большинство стандартных нагревательных элементов представляют собой проблему в таких условиях: при нагревании они начинают выделять летучие органические соединения или пыльные частицы. Если вы работаете с пластинами или оптическими покрытиями высокой чистоты, это приводит к катастрофе – одна-единственная микроскопическая частица может испортить всю партию продукции.

Чтобы избежать этого, мы используем инфракрасные лампы из высокочистого синтетического кварца. Они специально разработаны для использования в вакуумных условиях, поэтому не нужно беспокоиться о загрязнении.