Нагреватель для постобрабатывающей обжиговой обработки (PEB)

Wed, 24 Jun 2026 01:24:08 +0800

На этаже, где происходит процесс литографии, даже незначительное изменение температуры в 0,2°C может повлиять на качество изделия и привести к снижению его производительности. Мы разработали специальный нагреватель для использования после экспозиции, чтобы устранить такую нестабильность и обеспечить правильную работу фоторезиста согласно заложенным параметрам.

Что имеет значение при работе оборудования Мы стремимся к тому, чтобы температура на всей поверхности пластины оставалась стабильной в пределах ±0,1°C. Это позволяет добиться стабильных результатов при каждой серии производства. Инфракрасные элементы обеспечивают быстрое и точное нагревание, что помогает контролировать температурный режим и сокращать время цикла. Зона нагрева разработана таким образом, чтобы не создавать никаких частиц, поэтому её можно использовать в чистых комнатах класса 1–100 без риска загрязнения. Потребляемая мощность и напряжение соответствуют стандартам оборудования, а интерфейс позволяет легко интегрировать устройство в уже существующую систему.

Выпекать on Warm IR Heating Equipment

Нагреватель для постобрабатывающей обжиговой обработки (PEB)