Нагреватель для просушки с использованием пучка электронов

Sat, 27 Jun 2026 01:52:16 +0800

На этапе литографии процесс нагрева фоторезиста с использованием электронного излучения является не просто ещё одним этапом обработки — это ключевой фактор для контроля толщины линий на пленке. Даже небольшое изменение температуры в 5°C существенно влияет на критические размеры изделия. В производственном процессе нельзя полагаться на удачу; такой подход приводит к серьезным ошибкам.

Мы проектируем нагреватели для фоторезиста с учетом одного важного требования: их тепловое поведение должно соответствовать заданным параметрам, а не быть случайным. Нагреватель использует коротковолновое инфракрасное излучение, что позволяет быстро и эффективно передавать энергию, без возникновения горячих точек. По всей зоне нагрева однородность температуры составляет ±0,1°C, что обеспечивает одинаковые условия для каждой партии продукции. Повторяемость температуры составляет несколько миллиградусов, что способствует стабильности критических размеров изделия. Материалы корпуса и его поверхность выбираются с учетом требований чистых помещений; это позволяет использовать устройство в условиях класса чистоты 1–100 без образования частиц во время нагрева. Устройство разработано для работы 24/7; тепловые циклы рассчитаны так, чтобы избежать непланированных простоев.

Сопротивляться on Warm IR Heating Equipment

Нагреватель для просушки с использованием пучка электронов