http://warm-ir-heat-tools.com/ru/tags/%D1%84%D0%BE%D1%82%D0%BE%D1%80%D0%B5%D0%B7%D0%B8%D1%81%D1%82/ Recent content in Фоторезист on Warm IR Heating Equipment Hugo ru Thu, 04 Jun 2026 01:12:33 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/ru/posts/photoresist-baking-lamp/ Thu, 04 Jun 2026 01:12:33 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/ru/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heat-tools.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Лампа для запекания фоторезиста"></p> <p>На производственном участке погрешность в обработке фоторезиста измеряется в нанометрах. Несколько градусов отклонения во время мягкой или жёсткой сушки способны изменить критические размеры и снизить выход годной продукции. Мы разработали наши инфракрасные лампы для сушки фоторезиста с целью устранения этой неопределённости.</p> <p><strong>Что важно с технической точки зрения</strong><br> Мы используем излучатели ближнего инфракрасного диапазона (NIR) для непосредственной передачи энергии в слой фоторезиста, что минимизирует тепловое запаздывание. На всём профиле сушки достигается равномерность по пластине в пределах ±0,1°C. Система замкнутого контура поддерживает эту точность стабильно, даже при колебаниях сетевого напряжения или изменениях температуры окружающей среды.<br> Отсутствие генерации частиц — обязательное требование для чистых помещений классов 1–100, и эти лампы обеспечивают его. Стабильность выходной мощности сохраняется более 5 000 часов работы.</p>