http://warm-ir-heat-tools.com/ru/tags/sic/ Recent content in SiC on Warm IR Heating Equipment Hugo ru Mon, 01 Jun 2026 18:06:12 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/ru/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 18:06:12 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/ru/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heat-tools.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Нагревательная лампа для обработки подложек из карбида кремния (SiC)"></p> <p>На производственном участке SiC-воттеры не допускают отклонений температуры. Колебание на 2°C во время сушки фоторезиста способно вывести из строя наложение слоев, а некачественный профиль лампы может привести к потере всей партии. Наш нагреватель для обработки SiC-воттеров разработан с учётом этих условий.</p> <p><strong>Технические характеристики</strong></p> <p>Мы используем коротковолновые инфракрасные галогеновые излучатели в кварцевой колбе, настроенные под поглощение SiC, чтобы обеспечить быстрое и стабильное нагревание. В зоне сушки мы поддерживаем однородность температуры на уровне ±0,1°C на уровне каждого воттера и повторяемость от цикла к циклу в пределах ±0,5°C. Конструкция соответствует требованиям чистых помещений класса 1–100: материалы без генерации частиц при термоциклировании и низким выделением газов, что исключает загрязнение камеры. Обеспечивается высокая скорость нагрева без превышения теплового бюджета, а система рассчитана на круглосуточную эксплуатацию с показателями надёжности, обеспечивающими отсутствие незапланированных простоев.</p>