http://warm-ir-heat-tools.com/th/tags/%E0%B8%81%E0%B8%B2%E0%B8%A3%E0%B8%9B%E0%B8%A3%E0%B8%B0%E0%B8%A1%E0%B8%A7%E0%B8%A5%E0%B8%9C%E0%B8%A5/ Recent content in การประมวลผล on Warm IR Heating Equipment Hugo th Mon, 01 Jun 2026 18:06:13 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/th/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 18:06:13 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/th/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heat-tools.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="หลอดไฟฮีตเตอร์สำหรับการประมวลผลเวเฟอร์ SiC"></p> <p>บนพื้นโรงงาน wafer SiC ไม่อนุญาตให้มีความผันผวนของอุณหภูมิเลย การเปลี่ยนแปลงเพียง 2°C ในช่วงอบ <a href="https://o-yate.net">photoresist</a> ก็เพียงพอที่จะทำให้การวางตำแหน่งภาพผิดพลาดได้ และโปรไฟล์หลอดไฟที่ไม่แม่นยำอาจทำให้ล็อตทั้งหมดเสียหาย เราจึงออกแบบหลอดไฟฮีตเตอร์สำหรับการประมวลผล wafer SiC ให้ทำงานได้ในสภาพแวดล้อมเช่นนั้น</p> <p><strong>สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค</strong><br> เราใช้หลอดฮาโลเจนอินฟราเรดคลื่นสั้นในปลอกควอตซ์ ปรับจูนให้ตรงกับการดูดซับของ SiC เพื่อให้ wafer ร้อนขึ้นอย่างรวดเร็วและรักษาอุณหภูมิให้คงที่ ในโซนการอบ เราควบคุมความสม่ำเสมอในระดับ wafer อยู่ภายใน ±0.1°C และความแม่นยำซ้ำในแต่ละรอบอยู่ภายใน ±0.5°C วัสดุที่ใช้ผ่านมาตรฐาน Class 1–100 สำหรับห้องปลอดฝุ่น ไม่มีการสร้างอนุภาคในช่วงการเปลี่ยนอุณหภูมิ และออกแบบให้มีการปล่อยสารระเหยต่ำ เพื่อป้องกันการปนเปื้อนภายในห้องอบ คุณจะได้อัตราการเพิ่มอุณหภูมิที่รวดเร็วโดยไม่เกินงบประมาณความร้อนของระบบ และระบบถูกออกแบบให้ทำงานได้ต่อเนื่อง 24/7 พร้อมโปรไฟล์ความน่าเชื่อถือที่รองรับการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิดเป็นศูนย์</p> <p><strong>เหตุผลที่ใช้ในกระบวนการลิโธกราฟี</strong><br> ในเครื่อง track หลอดไฟนี้ให้โปรไฟล์การอบ soft bake และ hard bake ที่สม่ำเสมอบน SiC ทำให้ไม่สูญเสียการควบคุมขนาดสำคัญหรือผลผลิต ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่เข้มงวดช่วยลดปัญหาขอบบีดและความผิดพลาดของเรซิสต์ และการควบคุมอุณหภูมิอบที่ซ้ำได้ช่วยลดการทำงานซ้ำและเพิ่มความสามารถในกระบวนการที่ต้องมองเห็นเส้นทางตรง การเชื่อมต่ออินฟราเรดมีประสิทธิภาพและการควบคุมเวลาคงที่แม่นยำ ทำให้ใช้พลังงานน้อยลง ช่วงเวลาการบำรุงรักษายาวนานขึ้นด้วยอายุการใช้งานของหลอดและการออกแบบแบบโมดูลาร์</p> <p><strong>สิ่งที่ต้องตั้งค่าให้ถูกต้อง</strong><br> การติดตั้งขึ้นอยู่กับการจับคู่ขนาดและการเชื่อมต่อของหลอดไฟกับเครื่อง track ของคุณ จากนั้นตรวจสอบสเปคแรงดันไฟฟ้าและขั้วต่อกับแหล่งจ่ายไฟในตู้หลอดไฟ หลอดไฟจะทำงานอยู่ในสเปคเมื่อความดันในห้องและการไหลของก๊าซอยู่ภายในขอบเขตที่กำหนด หากเกินขอบเขตเหล่านั้นจะเห็นความสม่ำเสมอและอัตราการเพิ่มอุณหภูมิลดลง ควรตั้งค่าร่วมกับทีมบำรุงรักษาในช่วงเริ่มต้น และจัดทำสูตรอบ, จุดตั้งอุณหภูมิ และตรรกะการล็อกก่อนเริ่มผลิตภัณฑ์จริง</p> <iframe width="560" height="315" src="https://www.youtube.com/embed/9GIuZPliHzM?feature=oembed" title="หลอดไฟฮีตเตอร์สำหรับการประมวลผลเวเฟอร์ SiC" frameborder="0" allow="accelerometer; [autoplay](https://goldisgood.com); clipboard-write; encrypted-media; [gyroscope](https://henruite.com); picture-in-picture; web-share" referrerpolicy="strict-origin-when-cross-origin" allowfullscreen></iframe>