فیبریکیشن لیول پر، بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں 0.5°C کا تغیر بھی اہم پیمائشوں کو متأثر کر سکتا ہے، جس کی وجہ سے بہت سے ویفرز بیکار ہو جاتے ہیں۔ سیمی کنڈکٹرز کے حالات میں کوئی غلطی برداشت نہیں کی جاتی۔ فوٹوریزسٹ کو نرم یا سخت حالات میں بیک کرنے کے لئے ہمیشہ ایک ہی درجہ حرارت کی ضرورت ہوتی ہے؛ ہر سلاٹ میں، ہر شفٹ میں یہی درجہ حرارت ہونا ضروری ہے۔ ہم نے اسی مقصد کے لئے خصوصی تھرموکپل تیار کیا ہے۔
جو چیزیں اہم ہیں
ہم Type K تھرموکپل استعمال کرتے ہیں، جس کا جنکشن کم تھرمل ماس کا ہوتا ہے، اور اس کی سطح آکسیڈیشن سے محفوظ ہوتی ہے۔ اس کا ردِعمل 200 ملی سیکنڈ سے کم رہتا ہے، اور یہ 500°C پر مستقل طور پر استحکام برقرار رکھتا ہے۔ کنٹرولر، آؤٹ پٹ کو لینیئر کرتا ہے، اور پروب کی ساخت ہیٹر کی ساخت سے مطابقت رکھتی ہے؛ اس طرح ہم ویفر کی سطح کی پیمائش کرتے ہیں، نہ کہ ہیٹر کی سطح کی۔
ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، اور خود-حرارت کی سطح بہت کم ہے، نیز EMF میں کوئی تغیر نہیں ہوتا۔ یہ ڈیوائس کلاس 1–100 کے صاف کمروں میں استعمال کے لئے مناسب ہے، اور اس کے مواد اور جوڑوں سے کوئی ذرات یا گیسیں خارج نہیں ہوتیں۔
جہاں یہ ڈیوائس کامیاب ہے
لیتھوگرافی ٹریکس اور کوٹ/بیکنگ ماڈیولز میں، یہ تھرموکپل تھرمل لوپ کو مکمل کرتا ہے۔ اس طرح فوٹوریزسٹ کی پیمائش درست رہتی ہے، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت نہیں پڑتی، اور تھرمل بجٹ کا کنٹرول بہتر رہتا ہے۔ اس کے نتیجے میں، غلطیوں کی تعداد کم ہو جاتی ہے، سی ڈیز کی کوالٹی بہتر رہتی ہے، اور پیداوار میں اضافہ ہوتا ہے۔
توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، کیوں کہ ہیٹر درست درجہ حرارت پر ہی کام کرتا ہے۔ ہزاروں تھرمل سائیکلوں کے بعد بھی اس ڈیوائس کی قابلیت برقرار رہتی ہے، جس کی وجہ سے مرمت کی ضرورت کم ہوتی ہے، اور غیرمتوقع بندشوں کی سمسیا بھی کم ہوتی ہے۔
اگر ان چیزوں کو نظرانداز کیا جائے تو کیا ہوگا؟
ماؤنٹنگ کی درستگی بہت اہم ہے؛ اگر آپ یکسانیت حاصل کرنا چاہتے ہیں، تو پروب کی نوک کو درست جگہ پر ہی رکھنا ضروری ہے۔ پرانے ہیٹر بلاکس کو استعمال کرنے کے لئے کنٹرولر کو تھوڑا سا ایڈجسٹ کرنے کی ضرورت ہوتی ہے؛ کیوں کہ تھرمل ماس میں تبدیلی ہو جاتی ہے، جس کی وجہ سے لوپ کا ردِعمل بدل جاتا ہے۔
سیاہی کو برقرار رکھنا ضروری ہے؛ اگر اسے موڑا جائے یا زیادہ دبایا جائے، تو کیلیبریشن متأثر ہو جاتی ہے۔ پی ایم انٹروالز پر کیلیبریشن کی جانچ ضروری ہے۔ یہاں تک کہ بہترین تھرموکپل بھی وقت کے ساتھ خراب ہو جاتا ہے، اور سیمی کنڈکٹرز کی صنعت میں ہم اس کے لئے منصوبہ بندی کرتے ہیں۔