Bảo vệ các thiết bị trong phòng sạch một cách an toàn (và bảo vệ các wafer khỏi bị hư hại)
Trong phòng sạch, ngay cả một tia điện nhỏ hay dòng điện rò rỉ nhẹ cũng có thể gây ra thảm họa. Điều đó có thể khiến cả một lô wafer bị hư hại ngay lập tức. Chính vì vậy, chúng tôi thiết kế các linh kiện sưởi ấm sao cho chúng vẫn giữ được tính ổn định về mặt nhiệt, mà không ảnh hưởng đến chất lượng điện của các linh kiện khác xung quanh.
Tại sao chúng tôi kiểm tra từng chiếc ống sưởi ấm?
Một số công ty chỉ kiểm tra mẫu ngẫu nhiên; họ kiểm tra một chiếc trong số mười chiếc và hy vọng mọi thứ sẽ ổn.
Chúng tôi không làm vậy.
Mỗi chiếc ống sưởi ấm mà chúng tôi sản xuất đều phải trải qua kiểm tra độ bền điện áp và khả năng cách điện trước khi được xuất xưởng.
Lý do là: các thiết bị sưởi ấm này thường được đặt bên trong những bộ khung phức tạp, chứa đầy các cảm biến cực kỳ nhạy cảm. Nếu có vết nứt nhỏ trên lớp cách điện hoặc mối hàn yếu, dòng điện có thể rò rỉ vào bên trong bộ khung. Bạn sẽ không nhận ra điều đó cho đến khi mọi thứ không hoạt động đúng chức năng trong phòng sạch. Chúng tôi phát hiện ra những vấn đề này ngay từ đầu, để bạn không phải đối mặt với chúng sau này.
Đối phó với vấn đề nhiệt và rò rỉ điện
Các thiết bị sưởi ấm có công suất cao sẽ tỏa ra nhiệt lượng rất lớn. Quá trình nóng lên và nguội lại liên tục khiến các vật liệu bị giãn nở và co lại. Theo thời gian, điều này tạo ra áp lực lớn lên lớp cách điện. Để giải quyết vấn đề này, chúng tôi sử dụng các vật liệu có khả năng duy trì độ cách điện ngay cả khi chúng phải chịu nhiệt độ cao.
Nhưng có một điểm cần lưu ý: dù các ống sưởi ấm của chúng tôi rất chắc chắn, chúng vẫn không thể khắc phục được những sai sót trong quá trình lắp đặt. Nếu dây dẫn kém chất lượng hoặc bộ khung không được nối đất đúng cách, lớp cách điện bên trong sẽ không thể ngăn chặn dòng điện rò rỉ. Đó là trách nhiệm của bạn.
Thực tế về sự hao mòn
Việc kiểm tra các lỗi tại nhà máy rất tốt, nhưng điều đó không thể ngăn chặn được quá trình hao mòn theo thời gian. Sau hàng nghìn giờ hoạt động, lớp vỏ bọc bên ngoài của các ống sưởi ấm sẽ bị hư hại do quá trình oxy hóa. Để tránh tình trạng hỏng hóc đột ngột, tôi khuyến nghị nên kiểm tra khả năng cách điện của chúng mỗi sáu tháng một lần. Đó là cách để ngăn chặn những vấn đề nhỏ trở thành thảm họa lớn.