Thiết bị sưởi dùng để đánh giá tính chất của các thiết bị bán dẫn

Wed, 17 Jun 2026 11:53:49 +0800

Trong quá trình nung phim quang học, sự thay đổi nhiệt độ 2°C cũng có thể gây ra những ảnh hưởng không mong muốn. Điều này khiến cho quy trình sản xuất bị chậm lại, và những tấm wafer có thể được sử dụng sẽ trở thành rác thải. Những thiết bị sưởi có hiệu suất kém khiến việc kiểm soát nhiệt độ trở thành một công việc khó khăn; mỗi lần kiểm tra lại đều làm giảm thời gian hoạt động của thiết bị.

Characterization on Warm IR Heating Equipment

Thiết bị sưởi dùng để đánh giá tính chất của các thiết bị bán dẫn