http://warm-ir-heat-tools.com/vi/tags/x%E1%BB%AD-l%C3%BD/ Recent content in Xử Lý on Warm IR Heating Equipment Hugo vi Mon, 01 Jun 2026 18:06:13 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/vi/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 18:06:13 +0800 http://warm-ir-heat-tools.com/vi/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heat-tools.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Đèn sưởi xử lý tấm wafer SiC"></p> <p>Trên sàn sản xuất, wafer SiC không cho phép bạn có sai số về nhiệt độ. Chênh lệch 2°C trong quá trình nung photoresist đã đủ làm lệch vị trí phủ lớp, và một cấu hình đèn không chuẩn sẽ làm hỏng toàn bộ lô. Chúng tôi thiết kế đèn sưởi xử lý wafer SiC để hoạt động trong điều kiện này.</p> <p><strong>Điều quan trọng về mặt kỹ thuật</strong><br> Chúng tôi sử dụng đèn <a href="https://goldisgood.com">halogen</a> phát hồng ngoại sóng ngắn trong vỏ thạch anh, được điều chỉnh phù hợp với độ hấp thụ của SiC để wafer nóng nhanh và duy trì ổn định. Trên vùng nung, độ đồng đều ở mức wafer được giữ trong khoảng ±0.1°C, và độ lặp lại giữa các chu trình đạt ±0.5°C. Hệ thống đáp ứng yêu cầu phòng sạch: vật liệu đạt chuẩn Class 1–100, không sinh hạt trong quá trình gia nhiệt tuần hoàn, và thiết kế ít thoát khí giúp ngăn ngừa nhiễm bẩn trong buồng. Bạn đạt được tốc độ tăng nhiệt nhanh mà không vượt giới hạn nhiệt, và hệ thống được thiết kế vận hành liên tục 24/7 với độ tin cậy đảm bảo không có thời gian chết ngoài kế hoạch.</p>