في بيئة التصنيع، يمكنك التعلم بسرعة: فأي اختلاف في درجة الحرارة بمقدار 0.3 درجة مئوية قد يؤثر على نوعية المنتج النهائي، كما أن التسخين الزائد في الأطراف قد يجبرك على إعادة المعالجة مرة أخرى. الرقائق لا تتحمل أي اختلافات في درجات الحرارة.
ما هو مهم من الناحية التقنية؟ لقد صممنا عناصر التسخين في فرن الأشعة تحت الحمراء حول مصادر إشعاع هالوجينية ذات موجات قصيرة، وذلك داخل هيكل من الكوارتز. الهدف هو تحقيق توحيد درجة الحرارة على سطح الرقاقة بدقة تصل إلى أقل من ملليمتر واحد، بالإضافة إلى ضمان استمرارية القيم المطلوبة في كل جلسة تصنيع. يتم التحكم في درجة الحرارة بدقة تصل إلى ±0.1 درجة مئوية، ويتم تثبيتها بسرعة، حتى لا يحدث أي تغيير في درجة الحرارة، مما يساعد في الحفاظ على جودة المنتج النهائي. كما أن استخدام مواد مناسبة للغرف النظيفة وتصميم الجهاز بحيث يقلل من وجود الجسيمات، يساعد في منع التلوث من الوصول إلى الرقاقة أو داخل الفرن.
لماذا ينجح هذا النظام؟ في خطوات التسخين في عملية الطباعة، تعني هذه الدقة أن المذيبات تخرج بشكل متسق، وأن البوليمر يتدفق بنفس الطريقة في كل مرة. وهذا بدوره يساعد في الحفاظ على دقة الأبعاد الحرجة في الرقاقة. كما أن ذلك يساعد في تحسين توحيد درجة الحرارة داخل الرقاقة، ويقلل من الحاجة إلى إعادة المعالجة بعد عملية الفحص، بالإضافة إلى تحسين جودة الخطوط المستخدمة في الرقاقة.
يعمل النظام على مدار 24 ساعة في اليوم، بإخراج ثابت. لدينا أجهزة عملت لأكثر من 5,000 ساعة دون أن يحدث أي تغيير في الإخراج. كما يتم قياس استهلاك الطاقة والتحكم فيه، بدلاً من الاعتماد على التخمين.
ما يجب معرفته؟ يعتمد تركيب الجهاز على هندسة تركيب الفرن ونمط تدفق الهواء؛ يجب وضع عناصر التسخين في المكان الذي تتطابق فيه درجة الحرارة مع سطح الرقاقة. من المتوقع حدوث فترة تعديل قصيرة بعد التركيب، حتى تستقر عناصر التسخين وتتم ضبط منحنى المعايرة بشكل صحيح.
التوافق مع الغرف النظيفة من الفئة 1 إلى 100 أمر شائع، لكن يجب التأكد من توجيه التيارات الهوائية بشكل صحيح، حتى لا يحدث أي تلوث في المكان الذي لا نريده.