ফ্যাবগুলিতে কার্বন কমানো: IR হিটিং ব্যবহারের পদক্ষেপ
সত্যি বলতে, সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবগুলো অত্যন্ত বেশি শক্তি খরচ করে। ক্লিন রুমগুলিতে ব্যবহৃত পুরানো যন্ত্রপাতিগুলো এখনও রেজিস্টিভ হিটিং বা অন্যান্য পদ্ধতি ব্যবহার করে; এতে অপচয় হয় অনেক শক্তি। এই কারণেই আরও বেশি কারখানা SWIR সিস্টেম ব্যবহার করছে। এটা অনেক কার্যকর উপায়।
কেন এটা কার্যকর?
সাধারণ হিটারগুলো ওয়েফারকে গরম করার জন্য বাতাসকে গরম করার চেষ্টা করে; এটা অপচয়। কিন্তু IR ল্যাম্পগুলো ভিন্নভাবে কাজ করে। এগুলো বিকিরণ ব্যবহার করে; ফলে ফোটনগুলো সরাসরি লক্ষ্যবস্তুতে আঘাত করে। এতে পুরো চেম্বারকে গরম করার দরকার হয় না। হাই-ডেনসিটি IR অ্যারে ব্যবহার করলে ওয়েফারকে গরম করতে সময় অনেক কম লাগে। আর চক্রগুলো ছোট হওয়ায় প্রতি ওয়েফারের জন্য প্রয়োজনীয় শক্তিও কম হয়।
সঠিক স্পেকসিফিকেশন নির্ধারণ
যদি আপনি পুরানো লাইনগুলোকে আপগ্রেড করতে চান, তাহলে শুধুমাত্র ল্যাম্পগুলো সংযুক্ত করলেই হবে না। পাওয়ার ডেনসিটি বিবেচনা করতে হবে। আমরা সাধারণত হাই-ওয়াটেজ কোয়ার্টজ ল্যাম্প ও ফোকাসড রিফ্লেক্টর ব্যবহার করি; এতে তাপ ঠিক যেখানে দরকার সেখানেই থাকে। কিন্তু তরঙ্গদৈর্ঘ্যটি ওয়েফারের উপাদানের সাথে মিলে থাকতে হবে। নইলে শক্তি বরবাদ হয়ে যাবে। সর্বোত্তম ফলাফল পেতে আমরা গোল্ড-কোটেড রিফ্লেক্টর ব্যবহার করি। এটা জটিল মনে হলেও বাস্তবে এটাই সবচেয়ে কার্যকর উপায়। এতে কম ওয়াটেজেই ল্যাম্পগুলো চালানো যায়, আর পৃষ্ঠের তাপমাত্রাও ঠিক থাকে। ফলে বিদ্যুৎ খরচও কম হয়।
সমস্যাগুলো
IR আপগ্রেড কোনো জাদুর ছড়ি নয়। হাই-ইন্টেনসিটি ল্যাম্পগুলো অনেক তাপ উৎপন্ন করে। যদি আপনি হাই-ওয়াটেজ ল্যাম্পগুলোকে পুরানো রেজিস্টিভ হিটারগুলোর জন্য তৈরি করা চেসিসে সংযুক্ত করেন, তাহলে চেসিসটি ক্ষতিগ্রস্ত হতে পারে। তাই আপনাকে নিশ্চিত করতে হবে যে আপনার কুলিং সিস্টেমটি এই ধরনের তাপ সামলাতে সক্ষম।
আমি সবসময় PID কন্ট্রোলার ও দ্রুত-প্রতিক্রিয়াশীল পাইরোমিটার ব্যবহার করার পরামর্শ দিই। এতে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণে থাকে, আর শক্তি খরচও কম হয়। হার্ডওয়্যারগুলো ঠিকমতো কাজ করবে, কিন্তু IR-এর দ্রুত প্রতিক্রিয়ার জন্য আপনাকে কন্ট্রোল লজিকগুলো সামঞ্জস্য করতে হবে।