ফ্যাব ফ্লোরে, তাপমাত্রা কেবলমাত্র একটি সেটিং নয়; বরং এটা একটি গুরুত্বপূর্ণ সীমারেখা। ফটোরেজিস্ট সফট বেক প্রক্রিয়ায় অর্ধ-ডিগ্রির মতো তাপমাত্রা পরিবর্তনও ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলোকে বিঘ্নিত করতে পারে; ফলে অনেক কাজ নষ্ট হয়ে যায়। এই কারণেই আমরা আমাদের ইনফ্রারেড হিটিং মডিউলগুলোকে এমনভাবে ডিজাইন করেছি যাতে থার্মাল কন্ট্রোল ও ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ার জন্য প্রয়োজনীয় নির্দিষ্ট তাপমাত্রা বজায় থাকে।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা দ্রুত প্রতিক্রিয়াশীল ও নির্দিষ্ট স্পেকট্রাল নিয়ন্ত্রণযুক্ত শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার ব্যবহার করি; এর ফলে ওয়েফারগুলো সরাসরি উত্তপ্ত হয়। এর ফলে থার্মাল ল্যাগ কমে যায়, আর চেম্বারের প্রভাবও কমে যায়। প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যেই থাকে; ফলে ফটোরেজিস্টের প্রবাহ ও দ্রবণ অপসারণ স্থিতিশীল থাকে। হার্ড বেক প্রক্রিয়ার ফলে ক্রসলিঙ্কিংও স্থিতিশীল থাকে।
ক্লিনরুম ক্লাস 1–100 এর সাথে সামঞ্জস্য
ডিজাইনেই ক্লিনরুম ক্লাস 1–100 এর সাথে সামঞ্জস্য রয়েছে—কম গ্যাস নির্গমনকারী উপকরণ, সিলড অপটিক্স, এবং কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন না হওয়া। সিস্টেমটি নিরন্তর কাজ করার সময়ও থার্মাল স্থিতিশীলতা বজায় রাখে; ফলে এটা 24/7 কাজ করতে পারে।
উৎপাদনে কেন এটা কার্যকর?
এটাকে লাইনে ব্যবহার করলে ওয়েফার শুকানো, ফটোরেজিস্ট প্রি-বেক, এবং পোস্ট-এক্সপোজার বেক প্রক্রিয়াগুলোতে কোনো ব্যাঘাত হয় না। নির্দিষ্ট তাপমাত্রা বজায় থাকার ফলে CD পরিবর্তন কমে যায়, আর উৎপাদন হারও বাড়ে। দ্রুত সেটপয়েন্ট পরিবর্তনের ফলে সাইকেল সময় কমে যায়, আর প্রতি ওয়েফারে ব্যবহৃত শক্তিও কমে যায়। থার্মাল স্থিতিশীলতার ফলে ওয়েফারের পৃষ্ঠে ত্রুটি কমে যায়; ফলে রিওয়ার্ক কমে যায়।
মনে রাখার বিষয়গুলো
ইনফ্রারেড হিটিং হলো “লাইন-অফ-সাইট” পদ্ধতি; তাই ওয়েফারের জ্যামিতি ও ক্যারিয়ারের ডিজাইন স্থানীয় তাপমাত্রা বণ্টনকে প্রভাবিত করে। আমরা এমন একটি থার্মাল স্ট্যাক সরবরাহ করি যা বিভিন্ন ধরনের ওয়েফার ও সাবস্ট্রেটের জন্য উপযোগী।
আপনার নির্দিষ্ট ফটোরেজিস্ট ও সাবস্ট্রেটের জন্য রেসিপি ঠিক করার জন্য কিছু টাইম দরকার। আর যেহেতু আউটপুট পাওয়ার ও ফুটপ্রিন্টকে ট্র্যাক/কোটার/বেকার ইন্টারফেসের সাথে মেলানো দরকার, তাই ইনস্টলেশনের আগে যান্ত্রিক ও বৈদ্যুতিক সীমাবদ্ধতাগুলো নিশ্চিত করুন।