ফ্যাব ফ্লোরে কাজ করতে গেলে দ্রুতই শিখতে হয়। মাত্র ০.৩°C এর পার্থক্যও ওয়েফারের তাপমাত্রাকে পরিবর্তন করে দেয়; আর যদি ওভেনের কিনারাগুলো অতিরিক্ত উষ্ণ হয়, তাহলে আপনাকে আবার কোটার ট্র্যাকে ফিরে যেতে হয়। ওয়েফারগুলো তাপীয় অসমতাকে ক্ষমা করে না।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা NIR ওভেনের হিটিং এলিমেন্টগুলোকে কোয়ার্টজ অ্যাসেম্বলির মধ্যে স্থাপন করেছি। লক্ষ্য হলো ওয়েফারের পৃষ্ঠে সুপার-মিলিমিটার স্তরে সমান তাপমাত্রা বজায় রাখা। তাপীয় প্রোফাইলটি ±০.১°C এর মধ্যে থাকে; ফলে আপনাকে অতিরিক্ত শক্তি ব্যবহার করতে হয় না। ক্লিনরুম-সঙ্গত উপকরণ ও কণামুক্ত ডিজাইন ওয়েফারকে দূষণ থেকে রক্ষা করে।
এটি কেন কার্যকর?
লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায় এই নির্ভুলতার ফলে দ্রবণগুলো সুষ্ঠুভাবে বেরিয়ে আসে, আর পলিমারগুলোও প্রতিবার একইভাবে প্রবাহিত হয়। এর ফলে ওয়েফারের বিভিন্ন অংশে তাপমাত্রা সমান থাকে। ফলে ওয়েফারের অভ্যন্তরীণ অংশগুলোতে সমানতা বজায় থাকে, ডেভেলপমেন্ট প্রক্রিয়ার পর পুনরায় কাজ করার প্রয়োজন কমে যায়, আর এক্সপোজার ডোজ নির্ধারণ করা সহজ হয়।
এই সিস্টেমটি ২৪/৭ কাজ করে, এবং এর আউটপুট স্থিতিশীল থাকে। আমাদের কাছে এমন যন্ত্রও রয়েছে, যেগুলো ৫,০০০ ঘণ্টারও বেশি সময় ধরে কাজ করেছে, এবং এখনও আউটপুট স্থিতিশীল রয়েছে। শক্তি ব্যবহার নির্ধারিত মাত্রায় থাকে; অনুমানের উপর নির্ভর করতে হয় না।
জানা দরকার যে…
ওভেনের ক্যাভিটির জ্যামিতি ও বায়ুপ্রবাহের ধরণ খুবই গুরুত্বপূর্ণ। হিটিং এলিমেন্টগুলোকে এমন জায়গায় স্থাপন করতে হয়, যেখানে আইসোথার্মল পরিস্থিতি ওয়েফারের পৃষ্ঠের সাথে মিলে যায়। ইনস্টলেশনের পর কিছুক্ষণ অপেক্ষা করতে হয়, যাতে এমিটারগুলো সঠিকভাবে কাজ করতে পারে।
ক্লাস ১–১০০ ক্লিনরুমগুলোর সাথে এর সামঞ্জস্য স্বাভাবিক; কিন্তু টুলের ইন্টারফেসে এক্সহস্ট রুটিং ও লোকাল এক্সহস্ট সিস্টেমগুলো ঠিক আছে কিনা তা যাচাই করতে হবে। এতে কোনো ধরনের গ্যাস অপ্রয়োজনীয় জায়গায় জমে না।