ওয়েফারটিকে পাতলা করার ফলে ডাইটি দৃশ্যমান হয়ে ওঠে। আর তাপীয় অবস্থা নিয়ন্ত্রণ করা খুবই গুরুত্বপূর্ণ; এটা নিয়ে কোনো আলোচনা করার সুযোগ নেই। ফটোরেজিস্টের অবস্থা, অক্সাইড স্ট্রেস, ওয়েফারের বেঁকে যাওয়া – এসবই তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের উপর নির্ভর করে। মাত্র অর্ধ-ডিগ্রির পরিবর্তনও ফিল্মের চাপ পরিবর্তন করতে পারে; ফলে পুরো ৩০০ মিমি ওজনের ওয়েফারটি নষ্ট হয়ে যেতে পারে। আমরা আমাদের ইনফ্রারেড হিটিং প্ল্যাটফর্মটি এমনভাবে ডিজাইন করেছি যাতে তাপীয় অবস্থা ধারাবাহিকভাবে স্থিতিশীল থাকে।
ইনফ্রারেড হিটিং পদ্ধতিতে তাপ সরাসরি পাতলা ফিল্মগুলোতে প্রবেশ করে। আমাদের শর্ট-ওয়েভ NIR অ্যারেগুলো শক্তিটিকে ঠিক সেখানেই পাঠায়; ফলে অ্যাক্টিভ জোনে তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে। তাপমাত্রা প্রতি সেকেন্ডে ১০°C এর বেশি বৃদ্ধি পায়; ফলে সফট বেক ও হার্ড বেক প্রক্রিয়াগুলো সঠিকভাবে সম্পন্ন হয়।
ক্লিনরুম ক্লাস ১–১০০ এর সাথে সামঞ্জস্য রক্ষার জন্য ডিজাইনটিতে বিশেষ ব্যবস্থা রয়েছে: কম গ্যাস নির্গমনকারী উপাদান, সিলড কোয়ার্টজ উইন্ডো, এবং ল্যামিনার এয়ারফ্লো ইন্টারফেসগুলো কণার সংখ্যা নিয়ন্ত্রণ করে। কণার সংখ্যা ০.৩ কণা/সেমি² এর নিচে রাখা হয়।
ওয়েফারটিকে পাতলা করার ফলে তাপ ওয়েফারের মধ্যেই থাকে; ক্যারিয়ারে নয়। এতে ফটোরেজিস্টের অবস্থা ঠিক থাকে, কিনারাগুলোতে কোনো সমস্যা হয় না, আর গুরুত্বপূর্ণ মাপগুলো নির্দিষ্ট মানে থাকে। ফলে ওয়েফারের পুরুত্ব নিয়ন্ত্রণ করা সহজ হয়; অপ্রয়োজনীয় ওয়েফারগুলো কম হয়, আর বেক প্রক্রিয়াগুলো ধারাবাহিকভাবে সম্পন্ন হয়।
হিটারটি সরাসরি ফিল্মের সাথে সংযুক্ত থাকার ফলে শক্তির ব্যবহার কমে যায়; কোনো অতিরিক্ত তাপ উৎপন্ন হয় না। মডিউলগুলো ২৪/৭ কাজ করে; কোনো অপ্রত্যাশিত বন্ধের সমস্যা নেই। MTBF মান ১০,০০০ ঘন্টার বেশি।
ইনস্টলেশন খুবই সহজ; কিন্তু ইন্টিগ্রেশন অপরিহার্য। সিস্টেমটির জন্য ২৪ ভোল্টের কন্ট্রোল লাইন, ০.৪ MPa চাপের পরিষ্কার শুষ্ক বায়ু, এবং আপনার হ্যান্ডলারের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ কোয়ার্টজ-উইন্ডোযুক্ত প্রসেস চেম্বার প্রয়োজন। রিট্রইট ইন্টিগ্রেশনে প্রায় দুই দিন সময় লাগে; এর মধ্যে প্রতিটি ফিল্ম স্ট্যাকের জন্য এমিসিভিটি টেবিলগুলো ক্যালিব্রেট করা হয়।
কিনারাগুলোতে তাপীয় প্রভাব এড়ানোর জন্য পরিকল্পনা করা দরকার। আমরা নিরাপদ সীমানা নির্ধারণের জন্য প্রয়োজনীয় প্রোটোকলগুলো সরবরাহ করি।