Jak udržet čistou místnost třídy 100 opravdu čistou
Když pracujete v místnosti třídy 100 nebo ve vakuové komoře, vaším největším nepřítelem je únik plynů. Většina běžných topných prvků představuje v takových prostředích opravdový problém – při zahřívání začnou uvolňovat těkavé organické sloučeniny nebo malé částice. Pokud pracujete s waferami nebo optickými povlaky vysoké čistoty, je to katastrofa. Jedna mikroskopická částice stačí k tomu, aby celá várka byla znehodnocena.
S tímto problémem bojujeme pomocí infračervených lamp vyrobených z vysoce čistého syntetického křemene. Ty jsou speciálně navrženy pro použití ve vakuovech prostředích, takže se nemusíte obávat kontaminace, která by zkazila váš den.
Proč používáme vysoce čistý křemen
Používáme sklo s téměř nulovým obsahem nečistot. Cílem je zabránit uvolňování částic již v počáteční fázi. Na rozdíl od běžného skla se tento materiál při zahřátí nerozpadá ani neuvolňuje plynů. Navíc tyto lampy využívají krátkovlnné infračervené záření – energie tak putuje přímo do práce. Nemusí se plýtvat energií na zahřívání celého vakuového prostředí, čímž zůstává oblast zahřívání přesně kontrolována.
Složitá část: Vakuové uzávěry
Problém spočívá v uzávěru mezi lampou a vakuovým spojem – právě tam dochází k poruchám. Je to hlavní bod selhání. Proto neexperimentujeme s koncovkami. Používáme specializované elektrody a uzávěry, které dokážou odolat vysokému vakuumu. Nemůžete prostě vzít nějakou obyčejnou koncovku z regálu. Materiál musí odolat opakovanému zahřívání a ochlazování bez prasknutí nebo uvolňování částic.
Můžeme upravit výkon a napětí podle velikosti vaší komory. Mějte však na paměti, že i když vyšší výkon zajišťuje větší hustotu tepla, musíte zajistit, aby vaše vakuové pumpy dokázaly držet krok. Nechcete přece, aby stěny komory přehřály.
Několik varování (Seznam toho, co se nedělat má)
Vysoce čistý křemen je skvělý, ale je křehký. Dokáže odolat extrémnímu teplu, ale nesnáší nárazy. Pokud lampu upustíte nebo budete s jejím upevněním příliš agresivní, může dojít k namáhavému prasknutí. A ve vakuu znamená jediná malá trhlina okamžitou ztrátu tlaku.
Ještě jedna rada: vždy noste rukavice. Zní to jednoduše, ale kožní oleje zanechávají na křemenu stopy. Tyto stopy vytvářejí „horká místa“, když se lampa zapne – a právě ta horká místa způsobují předčasné selhání lampy. Chovejte se k ní opatrně a vydrží dlouho.