در فرآیند لیتوگرافی، اختلاف دمایی ۰.۵ درجه سانتیگراد در حین فرآیند گرم کردن، خطای کوچکی نیست؛ این امر منجر به بازرد کل محصولات تولید شده میشود. ما قطعات گرمایشی خود را در چین تولید کردهایم تا رفتار حرارتی در طول فرآیند، ساعت به ساعت و شیفت به شیفت، پایدار بماند.
نکات فنی مهم:
ما از مدولهای لامپ هالوژنی با امواج کوتاه و متوسط استفاده میکنیم تا بتوانیم جذب نور توسط فوتورزیست و میزان انرژی حرارتی را تنظیم کنیم. یکنواختی دما در سطح ویفر، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ این مقدار با استفاده از حسگرهای دقیق اندازهگیری میشود. بدنه گرمایشی از کوارتز و سرامیکهای با خلوص بالا ساخته شده است؛ این مواد به دلیل کاهش گازهای تولید شده و عدم ایجاد ذرات، در شرایط اتاقهای تمیز کلاس ۱-۱۰۰ مناسب هستند. تراکم انرژی نیز به گونهای تنظیم شده که فرآیند گرم کردن به سرعت انجام شود و دما در حد مشخصی ثابت بماند. رابطهای الکتریکی نیز به گونهای طراحی شدهاند که با استانداردهای ابزارهای مربوطه سازگار باشند؛ همچنین استفاده از کانکتورهای محکم و سیمهای محافظتشده، باعث حفظ کیفیت سیگنالها و کنترل نویزهای الکترومغناطیسی میشود.
در فرآیند فوتورزیست، قابلیت تکرارپذیری دما، عامل کنترل ابعاد مهم محصولات است؛ گرمایشکنهای ما، فرآیند گرم کردن را پایدار نگه میدارند، کارهای تکراری را کاهش میدهند و باعث میشوند فرآیند تولید به طور مداوم ادامه یابد.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا انتقال انرژی به صورت کارآمد انجام میشود و طراحی حرارتی نیز مناسب است. قابلیت اطمینان این گرمایشکنها در عملکرد ۲۴/۷ مشهود است؛ این دستگاهها میتوانند بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کنند، بدون اینکه کمتر از ۵٪ کاهش در خروجی آنها رخ دهد. برای شستشو و خشک کردن ویفر، گرمایش یکنواخت، باعث میشود انرژی سطحی و سرعت خشک شدن ویفر یکنواخت باقی بماند؛ بنابراین اختلالات ناشی از تغییرات دمایی وجود نخواهد داشت.
خلاصه اینکه: این گرمایشکنها با اکثر سیستمهای مربوط به تولید ویفر سازگار هستند؛ اما برای استفاده بهینه، باید این گرمایشکنها با جریان هوا، سیستمهای فشار و محل قرارگیری حسگرهای ابزار مربوطه سازگار باشند. همچنین، زمان لازم برای تنظیم پارامترهای این گرمایشکنها و تأیید عملکرد آنها در اتاقهای تمیز، کوتاه خواهد بود.
اما یک محدودیت وجود دارد که نمیتوان آن را نادیده گرفت؛ بستهبندی محکم این گرمایشکنها، دسترسی برای تعمیرات را دشوار میکند. بنابراین، باید تعمیرات را در زمانهای مشخص و با توجه به نیازهای ابزار مربوطه انجام داد.