در کارخانههای تولید، سریع یاد میگیرید که حتی تغییرات جزئی در دما، مثلاً ۰.۳ درجه سانتیگراد، میتواند باعث تغییرات قابل توجهی در عملکرد دستگاه شود. همچنین، اگر دمای لبههای ویفر بالا باشد، مجبور خواهید شد دوباره به روند فرآیند تولید برگردید. ویفرها اجازه نمیدهند که دما در سطح آنها ناهمگون باشد.
نکات فنی مهم:
ما عناصر گرمایشی فر استفاده شده در این دستگاه را بر اساس ساختارهای هالوژنی مربوط به موجهای کوتاه مادون قرمز طراحی کردهایم. هدف، داشتن یکپارچگی دمایی در سطح ویفر و همچنین تضمین تکرارپذیری پارامترهای گرمایشی در هر بار استفاده از دستگاه است. دقت کنترل دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ این امر باعث میشود که انرژی مصرفی در حد مناسبی باقی بماند. مواد مناسب برای استفاده در اتاقهای تمیز، همچنین طراحی دستگاه که باعث کاهش ذرات ناخواسته میشود، از آلودگی ویفرها جلوگیری میکند.
چرا این روش مؤثر است؟
در مراحل گرم کردن ویفرها، این دقت باعث میشود که حلالها به طور یکنواخت خارج شوند و پلیمرها نیز همانطور جریان یابند. این امر به کنترل بهتر ابعاد ویفرها کمک میکند. در نتیجه، یکپارچگی دمایی بالاتری در ویفرها حاصل میشود، کارهای تکراری کمتری لازم است، و رفتار عرض خطوط نیز قابل پیشبینی خواهد بود.
این دستگاه ۲۴ ساعته و به طور پیوسته کار میکند. دستگاههایی که بیش از ۵,۰۰۰ ساعت کار کردهاند، همچنان دارای یکپارچگی عملکردی مناسبی هستند. میزان انرژی مصرفی نیز اندازهگیری و کنترل میشود؛ بنابراین نیازی به حدس و گمان نیست.
نکاتی که باید بدانید:
موقعیت قرارگیری عناصر گرمایشی، بستگی به شکل محفظه دستگاه و الگوی جریان هوا دارد؛ بنابراین باید این عناصر در جایی قرار بگیرند که دمای سطح ویفر یکنواخت باشد. پس از نصب دستگاه، نیاز به یک دور کوتاه برای تنظیم عناصر گرمایشی وجود دارد تا دمای مورد نظر حاصل شود.
سازگاری این دستگاه با اتاقهای تمیز در کلاس ۱ تا ۱۰۰ استاندارد است؛ اما باید مسیر خروج گازها و سیستمهای جمعآوری گازها را بررسی کرد. این کار از بازگشت گازها به جاهایی که نمیخواهیم، جلوگیری میکند.