نگهداری اتاقهای تمیز کلاس ۱۰۰ در حالت تمیز
وقتی که در یک اتاق تمیز کلاس ۱۰۰ یا محفظه خلأ کار میکنید، «گازهای ناشی از حرارت» بزرگترین دشمن شما هستند.
اکثر عناصر گرمایشی استاندارد، در چنین محیطهایی مشکلساز هستند؛ زیرا هنگام گرم شدن، باعث انتشار ترکیبات 유기 متغیر (VOCs) یا تولید ذرات ریز میشوند. اگر با ویفرها یا پوششهای نوری با خلوص بالا کار میکنید، این موضوع فاجعهبار خواهد بود؛ یک ذره کوچک هم میتواند کل محصول شما را بیارزش کند.
ما برای حل این مشکل، از لامپهای اینفراردهای سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم. این لامپها به طور ویژه برای محیطهای خلأ ساخته شدهاند؛ بنابراین نیازی نیست نگران آلودگی باشید.
چرا از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؟
ما از سیلیکا فیوزد شده با خلوص تقریباً صفر استفاده میکنیم؛ هدف ما جلوگیری از تولید ذرات در همان ابتدا است.
برخلاف شیشههای معمولی، این ماده در هنگام گرم شدن تجزیه نمیشود و گازی از آن خارج نمیشود. علاوه بر این، این لامپها از تشعشعات اینفراردهای کوتاهامواج استفاده میکنند؛ این امر باعث میشود انرژی مستقیماً به قطعه کار منتقل شود. این روش باعث میشود انرژی بیشتری صرف گرم کردن سایر بخشهای محیط خلأ نشود؛ در نتیجه، منطقه گرمایشی در حالت کنترلشده باقی میماند.
مشکلات مربوط به درزبندهای خلأ
مشکل اصلی، درزبندهای موجود بین لامپ و فلنج خلأ است؛ این نقاط معمولاً منبع اصلی مشکلات هستند.
به همین دلیل، ما از کانکتورهای مخصوص استفاده میکنیم؛ این کانکتورها میتوانند در شرایط خلأ بالا کار کنند. نمیتوانید از کانکتورهای عادی استفاده کنید؛ زیرا این مواد باید بتوانند دائماً گرم و سرد شوند، بدون اینکه ترک بخورند یا ذراتی از آنها خارج شود.
ما میتوانیم توان و ولتاژ لامپ را برای اندازه محفظه شما تنظیم کنیم؛ اما باید به یاد داشته باشید که هرچه توان بالاتر باشد، تراکم گرما نیز بیشتر خواهد بود؛ بنابراین باید مطمئن شوید که پمپهای خلأ شما قادر به تأمین فشار لازم هستند. نمیخواهید دیوارهای محفظه شما بیش از حد گرم شوند.
چند هشدار (فهرست کارهایی که نباید انجام داد)
کوارتز با خلوص بالا عالی است، اما شکننده است.
اگر لامپ را از روی سطح پایین بیندازید یا از کلیپهای مخصوص برای نصب آن استفاده نکنید، ممکن است ترک بر روی لامپ ایجاد شود؛ در محیط خلأ، یک ترک کوچک میتواند باعث کاهش فشار شود.
یک نکته آخر: همیشه از دستکش استفاده کنید.
این کار ساده به نظر میرسد، اما روغنهای پوستی میتوانند روی کوارتز ردی ایجاد کنند؛ این ردها باعث ایجاد نقاط گرم میشوند؛ این نقاط گرم باعث خراب شدن لامپ میشوند. لطفاً با آنها مراقب باشید تا لامپها بتوانند مدت زمان بیشتری کار کنند.