בקרקע הייצור, אתה מודד את שולי השגיאה בעיבוד פוטורזיסט בננומטרים. כמה מעלות שגיאה במהלך ההקפצה הרכה או ההקפצה הקשה מספיקות כדי להזיז ממדי מפתח ולהשפיע על התשואה. בנינו את מנורות ההקפצה האינפרה-אדום שלנו כדי להוציא את חוסר הוודאות מהמשוואה.
מה שחשוב טכנית
אנו משתמשים במפיצי אינפרה-אדום קצר-גל (NIR) כדי להניע אנרגיה ישירות לתוך שכבת הפוטורזיסט, כך שהשהיית חום נשארת מינימלית. לאורך פרופיל ההקפצה המלא, אתה מקבל אחידות ברמת השבב בטווח של ±0.1°C. בקרת לולאה סגורה שומרת על הדיוק הזה יציב גם כאשר מתח הקו משתנה או טמפרטורת הסביבה נודדת.
יצירת חלקיקים אפסית היא דרישה בסיסית בחדרים נקיים בדרגה 1–100, והמנורות הללו מספקות את זה. יציבות הפלט נשמרת לאורך יותר מ-5,000 שעות פעולה.
למה זה עובד בליתוגרפיה
ההקפצה הרכה עוסקת בהנעת ממיסים לרמת שארית נכונה, וההקפצה הקשה קובעת את הדפוס. הרץ את הצעדים התרמיים הללו עם חזרתיות, ואתה מקבל שליטה אמיתית על התהליך.
אתה רואה שליטה צמודה יותר על רוחב הקו, פחות פגמים, וזמני מחזור שניתן לסמוך עליהם. עלייה והפחתה מהירות גם מפחיתות את השימוש באנרגיה בהשוואה לפלטות חמות קונבנציונליות, כך שהעלויות התפעוליות יורדות מבלי להאט את קצב הייצור.
מה שצריך לדעת מראש
המנורות מתאימות ישירות למסילות ולציפויים קיימים, אך הן זקוקות למקור כוח נקי ומוקדש כדי לשמור על יציבות ספקטרלית במקום שבו היא צריכה להיות.
מרחק המפיץ לשבב צריך להיות מוגדר בדיוק—כל סטייה תפריע לתקציב התרמי ולאחידות. צפה לחלון הקצאה קצר כדי לדייק את הפרופיל עבור הכימיה הספציפית של הפוטורזיסט שלך. לאחר שזה מוגדר, התהליך נשאר נעול.