מנורת אפיית פוטורזיסט

בקרקע הייצור, אתה מודד את שולי השגיאה בעיבוד פוטורזיסט בננומטרים. כמה מעלות שגיאה במהלך ההקפצה הרכה או ההקפצה הקשה מספיקות כדי להזיז ממדי מפתח...