चुंबकीय क्षेत्र वाले इन्फ्रारेड हीटरों का उपयोग क्यों किया जा रहा है?
यदि आप सेमीकंडक्टरों की प्रसंस्करण प्रक्रियाओं को तेज़ करना चाहते हैं, तो आपको यह तो पता ही होगा कि चैंबर के गर्म होने का इंतज़ार करना बहुत ही धीमी प्रक्रिया है।
लंबे समय तक हमने “गर्म हवा” का ही उपयोग किया। लेकिन समस्या यह है कि वेफर को गर्मी मिलने से पहले पूरे चैंबर को गर्म करना ही पड़ता है – गैस, दीवारें, सब कुछ। यह बहुत ही धीमी एवं अकुशल प्रक्रिया है।
इसीलिए हमने चुंबकीय क्षेत्र वाले इन्फ्रारेड हीटरों का उपयोग शुरू किया। ऐसे हीटरों में ऊर्जा सीधे ही वेफर तक पहुँचती है; कोई मध्यवर्ती तत्व नहीं होता।
यह सब समय से संबंधित है…
गर्म हवा वाली प्रणालियों में तापमान बढ़ाने में बहुत समय लगता है, और फिर उस तापमान को कम करने में भी उतना ही समय लगता है।
लेकिन इन्फ्रारेड हीटरों में ऐसी कोई समस्या ही नहीं है… ऊर्जा तुरंत ही वेफर तक पहुँच जाती है। इससे प्रसंस्करण समय मिनटों में ही सेकंडों में आ जाता है। जब आप बड़े पैमाने पर उत्पादन कर रहे होते हैं, तो ऐसे समय-बचत से आप एक दिन में बहुत कुछ कर सकते हैं।
चुंबकीय क्षेत्र का प्रभाव…
अब, इस प्रणाली को चुंबकीय क्षेत्र में लाने से नियम ही बदल जाते हैं… अब आप गर्मी को हवा के माध्यम से फैलाने पर भरोसा नहीं कर सकते… सब कुछ विकिरण एवं संवहन के माध्यम से ही होता है।
हम ऐसे हीटरों को ऐसे ही डिज़ाइन करते हैं कि वे अधिक ऊर्जा को संभाल सकें… लेकिन ध्यान रखना होगा कि यदि चैंबर की दीवारें ठीक से सुरक्षित न हों, या कूलिंग सिस्टम ठीक से काम न करे, तो वह गर्मी आपके सेंसरों एवं उपकरणों तक पहुँच सकती है… ऐसी स्थिति में समस्याएँ हो सकती हैं।
समझौता…
ध्यान रखें… आप बस एक फैन को हीटर से बदलकर काम नहीं चला सकते… आपको अपने PID लूपों में भी बदलाव करने होंगे… क्योंकि इन्फ्रारेड हीटर बहुत ही तेज़ी से काम करते हैं… इसलिए यदि आपका कंट्रोलर अभी भी धीमी गति वाली हवा-प्रणाली के लिए ही तैयार है, तो आपको अपने लक्ष्य तापमान से चूक हो सकती है…
आप वास्तव में एक सरल प्रणाली की जगह उच्च सटीकता वाली प्रणाली का उपयोग कर रहे हैं… इसके लिए थोड़ी अधिक व्यवस्था आवश्यक है… लेकिन गति के मामले में यह निश्चित रूप से लाभदायक है।