なぜ金メッキされた反射板がウェーハにとって重要なのか シリコンウェーハを加熱する際に、筐体が過度に熱くなってしまうと、それはまるでお金を無駄にしているようなものです。これは明らかに設計上の欠陥です。多くの人々はアルミニウム製の反射板を使用しますが、問題は、アルミニウムはエネルギーを過剰に吸収してしまうことです。 だからこそ、私たちは金を使うのです。反射板に金をコーティングすることで、電球から出る赤外線が正しくウェーハに届くようになります。 その秘訣は物理学にあります。 金は、磨かれた鋼やアルミニウムよりも赤外線を効果的に反射できます。光子を吸収するのではなく、跳ね返すのです。これにより、ウェーハ全体の温度が均一に保たれます。もはや、端の部分が中心部と同じくらい熱くなっているかどうかを推測する必要はありません。 しかし、注意点もあります。 高ワット数のランプを狭い空間に設置すると、状況は厳しくなります。高ワット数のIRランプと金メッキの反射板を組み合わせる場合、冷却対策が不可欠です。金は熱を効果的に反射するため、ウェーハに当たらない赤外線は筐体に当たってしまいます。適切な換気がなければ、ソケットやブラケットが溶けてしまったり、変形してしまったりします。これは楽しい経験ではありません。 その価格に見合う価値はあるのか？ 実際、金は安くありません。低精度の作業を行う場合は、これは過剰な投資かもしれません。スーパーに行くのにフェラーリは必要ありません。 しかし、半導体加工の場合は、温度の均一性が何よりも重要です。その世界では、安定性と省エネ効果のために、そのコストは問題になりません。 ひとつのコツ：毎週、ランプの位置を確認しましょう。高反射率のシステムでは、わずかな傾きでもホットスポットが生じます。そうなると、ドーピングやエッチングの結果が不均一になり、高価なウェーハが廃棄されてしまいます。 設置する際は、高温用の端子を使用しましょう。また、PIDコントローラーの調整も、迅速な応答ができるようにしておく必要があります。金は素早く反応するので、コントローラーもそれに合わせて動く必要があります。