グローブボックス用赤外線ヒーター素子

グローブボックスで手をやけどするのはやめましょう もし、従来の対流式加熱方式を使って半導体製造に取り組んだことがある方なら、その苦労はご存知でしょう。基板を適切な温度に保つために温度を上げますが、その結果、装置全体がまるでヒーターのようになってしまいます。壁面がひどく熱くなり、非常に煩わしく、エネ...