グローブボックスで手をやけどするのはやめましょう
もし、従来の対流式加熱方式を使って半導体製造に取り組んだことがある方なら、その苦労はご存知でしょう。基板を適切な温度に保つために温度を上げますが、その結果、装置全体がまるでヒーターのようになってしまいます。壁面がひどく熱くなり、非常に煩わしく、エネルギーの無駄遣いにもなります。正直、安全上のリスクもあります。
私たちは、空気を温めるのではなく、方向性のある赤外線を利用する方法を見つけました。
実際の動作原理
太陽を思い浮かべてみてください。太陽は宇宙の真空中を通って地球を暖めるのではなく、エネルギーを直接私たちに送り届けます。これと同じ原理です。短波長の石英素子を使えば、エネルギーは直線的に進み、ワークピースに直接当たります。その結果、ボックス内の空気は比較的冷たいままであり、内壁が熱くなることはありません。目標の温度にすぐ到達できますが、他の機器が壊れる心配はありません。
設定のコツ
通常は高密度の石英管を使用します。スペースに応じて、迅速に温度を上げるために強力な熱を発生させるか、安定した温度を維持するために調整します。しかし、注意点があります。それは「取り付け方法」です。これらの素子は一点で非常に高温になるため、普通の鋼製ブラケットでは固定できません。そうすると、熱が再びフレーム内に戻ってしまいます。熱伝導率が低い材料を使用し、熱を必要な場所に留めておく必要があります。
デメリット
完璧な方法はありません。赤外線は方向性があるため、空気の流れに頼って温度を均一にすることはできません。部品の形状が複雑な場合、寒い部分ができてしまいます。基板の各部分が均等に加熱されるように、ランプの配置には十分注意する必要があります。
もう一つ、PIDコントローラーにも注意が必要です。調整が不十分だと、電源のオンオフが頻繁に行われ、ファイラメントが過度に負荷を受けて早く壊れてしまいます。ゆっくりと電源を入れるソフトスターターを使用すれば、ランプや予算を守ることができます。