交換用ヒーター要素 IP65
バスルームに最適な赤外線ヒーターの選び方
赤外線ヒーターのワット数を適切に設定するのは、少し難しいです。シャワーから出た瞬間にすぐに暖かさを感じたいものですが、一方で過度に強くするのも避けたいです。ワット数が高すぎると、電力の無駄遣いになったり、最悪の場合は回路ブレーカーが切れてしまうこともありま...
半導体式オーブンの発熱体
ファブ内では、すぐに学べます。0.3℃というわずかな温度変動でも、露光条件が変わってしまいます。また、端の部分が過度に加熱されると、再びコータートラックで品質を確保する必要があります。ウェーハは、温度の不均一性を許しません。
技術的に重要な点 私たちが開発したNIRオーブンの加熱要素は、石英製のハ...
ウェーハ薄化加熱赤外線
ウェーハを薄くする際、ダイが露出します。そして、熱管理は交渉の余地がない重要な要素です。フォトレジストの特性、酸化物による応力、わん曲など、すべては温度制御にかかっています。わずか0.5度の温度変動でも、フィルムの応力が変わり、剥離が起こり、300mmサイズのウェーハ全体が無駄になってしまいます。...