ウェーハ薄化加熱赤外線

ウェーハを薄くする際、ダイが露出します。そして、熱管理は交渉の余地がない重要な要素です。フォトレジストの特性、酸化物による応力、わん曲など、すべては温度制御にかかっています。わずか0.5度の温度変動でも、フィルムの応力が変わり、剥離が起こり、300mmサイズのウェーハ全体が無駄になってしまいます。...