バスルームに最適な赤外線ヒーターの選び方 赤外線ヒーターのワット数を適切に設定するのは、少し難しいです。シャワーから出た瞬間にすぐに暖かさを感じたいものですが、一方で過度に強くするのも避けたいです。ワット数が高すぎると、電力の無駄遣いになったり、最悪の場合は回路ブレーカーが切れてしまうこともありま...

グローブボックスで手をやけどするのはやめましょう もし、従来の対流式加熱方式を使って半導体製造に取り組んだことがある方なら、その苦労はご存知でしょう。基板を適切な温度に保つために温度を上げますが、その結果、装置全体がまるでヒーターのようになってしまいます。壁面がひどく熱くなり、非常に煩わしく、エネ...

ファブ内では、すぐに学べます。0.3℃というわずかな温度変動でも、露光条件が変わってしまいます。また、端の部分が過度に加熱されると、再びコータートラックで品質を確保する必要があります。ウェーハは、温度の不均一性を許しません。 技術的に重要な点 私たちが開発したNIRオーブンの加熱要素は、石英製のハ...

ファブの現場では、フォトレジスト処理中の温度変動は「いつか起こるかもしれない」という問題ではありません。これは、製品の品質を静かに悪化させる要因です。ソフトベイク時の温度が0.5°C変動するだけで、重要な寸法の制御が崩れてしまいます。また、ハードベイクの際に温度が均一でなければ、エッチング後に不良...