半導体デバイスの特性評価用ヒーター

ファブ内では、フォトレジストの焼成時に2℃の温度変動が生じると、CD値が変わってしまうだけでなく、何時間ものリソグラフィー処理時間が無駄になります。また、本来出荷可能だったウェーハも廃棄処分になってしまいます。性能が不十分なヒーターを使うと、熱管理が困難になり、再検証のための時間も余計にかかってし...